|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Study of topographic features, shape, and mechanical stresses in microelectronic structures using geomorphometric techniquesстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 10 апреля 2024 г.
- Авторы: Dedkova A.A., Florinsky I.V.
- Журнал: Russian Microelectronics
- Том: 52
- Номер: S1
- Год издания: 2023
- Издательство: Maik Nauka/Interperiodica Publishing
- Местоположение издательства: Russian Federation
- Первая страница: S257
- Последняя страница: S262
- DOI: 10.1134/S1063739723600139
- Добавил в систему: Флоринский Игорь Васильевич