|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Defocused Ion Beam Etching of the Silicon Probes for High Resolution Atomic-force Microscopyстатья
- Авторы: Krasnoborodko S.Y., Vysokikh Y.E., Bulatov M.F., Churikov D.V., Smagulova S.A., Shevyakov V.I.
- Сборник: 2019 PhotonIcs and Electromagnetics Research Symposium
- Год издания: 2019
- Место издания: Spring
- Первая страница: 1063
- Последняя страница: 1066
- Добавил в систему: Булатов Марат Фатыхович