|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Разработка исследовательского CVD оборудованиятезисы доклада Исследовательская статья
- Авторы: Гончаров О.Ю., Балдаев Л.Х.
- Сборник: Труды 30-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием "ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА и ТЕХНОЛОГИИ"
- Тезисы
- Год издания: 2023
- Место издания: СПбГЭТУ «ЛЭТИ» Санкт-Петербург
- Первая страница: 128
- Последняя страница: 133
- Аннотация: Рассмотрено применение методик CVD и потребности в разработке исследовательского CVD-оборудования
- Добавил в систему: Гончаров Олег Юрьевич