Характеристики сеточного ВЧ источника ионов с металлической газоразрядной камеройстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Полный текст PF-24-1-019_RU.pdf 388,9 КБ 17 октября 2024 [NikonovAlexandr]