|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Влияние реактивной атмосферы при магнетронном напылении на эволюцию фазового состава алмазоподобных покрытий, легированных хромомстатья
- Авторы: Левин И.С., Авдюхина В.М., Хрущов М.М., Шергунов В.А.
- Журнал: Ученые записки физического факультета Московского Университета
- Номер: 4
- Год издания: 2017
- Первая страница: 1741002-1
- Последняя страница: 1741002-5
- Аннотация: В работе исследовались образцы алмазоподобных углеродных покрытий, легированных хромом, полученные с помощью технологии магнетронного распыления в активных газовых средах. Изучалось влияние особенностей нанесения покрытий (в первую очередь, состава атмосферы напыления) на их фазовый состав и тонкую атомную структуру. В качестве основного метода исследования использовалась рентгеновская дифрактометрия.
- Добавил в систему: Левин Иван Сергеевич