|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Combined impact of 500 keV protons and oxygen plasma on polyimide filmsстатья
Статья опубликована в высокорейтинговом журнале
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 23 ноября 2017 г.
- Авторы: Novikov L.S., Voronina E.N., Chernik V.N., Zhilyakov L.A., Chirskaya N.P.
- Журнал: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
- Том: 410
- Год издания: 2017
- Издательство: Elsevier BV
- Местоположение издательства: Netherlands
- Первая страница: 60
- Последняя страница: 67
- DOI: 10.1016/j.nimb.2017.08.012
- Аннотация: This paper presents results of experimental investigation of combined impact of 500 keV protons with fluences of 10^15–10^16 cm^−2 and oxygen plasma with fluences of (0.8–3.5) 10^20 cm^−2 on polyimide films. Measured UV–vis transmission, Raman and XPS spectra of polyimide specimens before and after combined impact and data on the sample mass losses as a result of erosion due to oxygen plasma exposure are given. On the base of the obtained spectroscopic results, the changes in the polyimide structure caused by the proton and oxygen irradiation are analyzed and discussed.
- Добавил в систему: Воронина Екатерина Николаевна