|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Послойный анализ многослойных неоднородных ультратонких пленок с субнанометровым разрешениемстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Лубенченко А.В., Лубенченко О.И., Иванов Д.А., Лукьянцев Д.С., Паволоцкий А.Б., Павлов О.Н., Иванова И.В.
- Журнал: Журнал технической физики
- Том: 94
- Номер: 8
- Год издания: 2024
- Издательство: Наука
- Местоположение издательства: СПб.
- Первая страница: 1229
- Последняя страница: 1239
- DOI: 10.61011/JTF.2024.08.58550.112-24
- Добавил в систему: Лукьянцев Денис Сергеевич