|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
МОЛЕКУЛЯРНО-ДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙтезисы доклада
- Авторы: Григорьев Ф.В., Сулимов А.В., Кондакова О.А., Сулимов В.Б., Тихонравов А.В.
- Сборник: Тезисы докладов 14-ой Российской Школы-Симпозиума ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ ОСНОВЫ АТОМИСТИЧЕСКОГО МНОГОМАСШТАБНОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ (ФОАММ-2017)
- Серия: Симпозиум АТОМИСТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
- Тезисы
- Год издания: 2017
- Место издания: г. Долгопрудный
- Первая страница: 1
- Последняя страница: 21
- Аннотация: Оптические и структурные свойства напыляемых оптических покрытий существенно зависят от технологических параметров процесса напыления (температура подложки, энергия и угловое распределение по скоростям осаждаемых атомов, давление и состав газа в вакуумной камере и т.д.) [1]. Экспериментальное исследование указанной зависимости затруднено в силу малой толщины и неупорядоченной структуры покрытия, в связи с чем использование для этой цели суперкомпьютерного моделирования представляется перспективным. В работе представлена атомистическая модель процесса напыления тонких оптических покрытий диоксида кремния, позволяющая моделировать физико-химические процессы, сопровождающие рост пленки [2]. Метод основан на классической молекулярной динамике (МД) с оригинальным силовым полем DESIL, обладающим высокой численной эффективностью и позволяющим описать структурные свойства стеклообразного и кристаллического диоксида кремния. Разработанная модель предназначена ля использования на суперкомпьютерах с количеством вычислительных узлов до нескольких тысяч. В рамках развитого подхода впервые проведено атомистическое моделирование тонких пленок диоксида кремния толщиной до 100 нм, что близко к технологической толщине одного слоя тонкого покрытия. Исследованы структурные параметры пленки (плотность, длины связи, валентные углы, концентрация точечных дефектов, концентрация и распределение по размерам пор, поверхностная шероховатость, статистика колец с различным числом атомов) в зависимости от параметров напыления. Рассчитаны напряжения в напыленной пленке, изучено влияние отжига на структурные свойства напыленной пленки [3,4]. Предсказанное превышение показателя преломления пленки SiO2 над показателем преломления кварцевого стекла подтверждено экспериментально для пленок, полученных методом реактивного ионно-лучевого распыления с ионным ассистированием. 1.Piegari A. and Flory F. (2013) Optical Thin Films and Coatings. Cambridge: Woodhead Publishing.2.Grigoriev F. V., Sulimov A. V., Kochikov I. V., Kondakova O. A., Sulimov V. B.// Int. J. of High Perf. Comp. Appl. 2015.29.184. 3.Grigoriev F.V., Katkova E.V., Sulimov A.V., Sulimov V.B. and Tikhonravov A.V. // Optical Materials Express, 2017.6.3960.4.Grigoriev F. V., Sulimov A. V., Kochikov I. V., Kondakova O. A., Sulimov V. B., Tikhonravov A. V. //Applied Optics. 2017.56.C87.
- Добавил в систему: Григорьев Федор Васильевич