|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Исследование изменения параметров тонкопленочных структур в процессе ионной имплантациистатья
- Авторы: Медведева С.С., Коива Д.А., Шемухин А.А., Черных П.Н.
- Журнал: Вестник Балтийского федерального университета им. И. Канта
- Номер: 4
- Год издания: 2014
- Первая страница: 7
- Последняя страница: 13
- Аннотация: Исследовано изменение параметров тонкопленочных структур в процессе ионной имплантации. С помощью метода рентгеновской рефлектометрии были определены толщины тонкопленочных структур до и после имплантации. Методом рентгеновской дифрактометрии была установлена кристаллическая структура пленок, оценен средний размер зерна, а также, на основе метода решения уравнения Вульфа-Брэгга была выявлена экспериментальная постоянная решетки. Продемонстрирована возможность использования методики контролируемой ионной имплантации для изменения размеров зерен формируемых структур.
- Добавил в систему: Шемухин Андрей Александрович