|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Формирование микроструктур на поверхности кремния во фторсодержащей плазме в циклическом процессе травление/пассивациястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Амиров И.И., Алов Н.В.
- Журнал: Химия высоких энергий
- Том: 42
- Номер: 2
- Год издания: 2008
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 164
- Последняя страница: 168
- Добавил в систему: Алов Николай Викторович