|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
SiC-Si Grooved Surface Bondingстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 19 сентября 2015 г.
- Авторы: Agrunova T.S., Grekhov I.S., Kostina L.G., Tur’yanskii A.V., Pirshin I.V., Prudnikov I.R., Kostin K.B.
- Сборник: Materials Research Society Symposium Proceedings
- Серия: Symposium I – Wafer Bonding and Thinning Techniques for Materials Integration
- Том: 681
- Год издания: 2001
- Первая страница: I5.6-1
- Последняя страница: I5.6-6
- DOI: 10.1557/PROC-681-I5.6
- Добавил в систему: Прудников Илья Рудольфович