|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
ВЛИЯНИЕ СОСТОЯНИЯ И ПОДГОТОВКИ ПОВЕРХНОСТИ НА ПРОЦЕСС ЭЛЕКТРООСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ СЛОЕВ МЕДИ НА КОМПОНЕНТЫ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ СТРУКТУРстатья
- Авторы: ТУРАЕВ ДМИТРИЙ ЮРЬЕВИЧ, ГВОЗДЕВ ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ, ВАЛЕЕВ АДИЛЬ САЛИХОВИЧ, КРУГЛИКОВ СЕРГЕЙ СЕРГЕЕВИЧ
- Журнал: Гальванотехника и обработка поверхности
- Том: 22
- Номер: 3
- Год издания: 2014
- Первая страница: 65
- Последняя страница: 69
- Добавил в систему: Кругликов Сергей Сергеевич