|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
РАЗРАБОТКА ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ НА ПОДСЛОЕ ИЗ КОБАЛЬТА ИЛИ МЕДИ МЕДНЫХ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПРОВОДНИКОВ ПОКРЫТЫХ СВЕРХУ БАРЬЕРНОЙ ПО ОТНОШЕНИЮ К АТОМАМ МЕДИ ТОНКОЙ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПЛЕНКОЙ СПЛАВА НА ОСНОВЕ КОБАЛЬТАстатья
- Авторы: ТУРАЕВ ДМИТРИЙ ЮРЬЕВИЧ, ГВОЗДЕВ ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ, БУНДИНА ВЕРОНИКА АНАТОЛЬЕВНА, ИБРАГИМОВ ДАМИР РУЗДАНОВИЧ, ЦУКАНОВА ОЛЬГА ЮРЬЕВНА, ВАЛЕЕВ АДИЛЬ САЛИХОВИЧ, КРУГЛИКОВ СЕРГЕЙ СЕРГЕЕВИЧ
- Журнал: Успехи в химии и химической технологии
- Том: 28
- Номер: 5
- Год издания: 2014
- Издательство: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Российский химико-технологический университет им. Д.И. Менделеева"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 101
- Последняя страница: 104
- Аннотация: Предложены электролиты и режимы электролиза для осаждения тонких металлических пленок из меди и сплава на основе кобальта, барьерного по отношению к атомам меди, на компоненты микроэлектронных устройств. Полученные образцы были исследованы с использованием электронного микроскопа. Результаты исследований показали, что полученные образцы удовлетворяют предъявленным требованиям формирования медной металлизации.
- Добавил в систему: Кругликов Сергей Сергеевич