Повышение точности широкополосного контроля процесса напыления оптических покрытийстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 10 февраля 2021 г.
Аннотация:В работе предлагается подход к повышению точности широкополосного контроля процесса напыления оптических покрытий за счет определения фактического набора толщин слоев покрытия в процессе напыления. На серии модельных численных экспериментов с использованием симулятора процесса напыления показана эффективость предложенного подхода.