Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ЦЭМИ РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Математическая модель температурных полей в процессе электронно-лучевого экспонирования при изготовлении фотошаблонов БИС
статья
Авторы:
Грачев Е.А.
,
Кузьмин И.Ю.
,
Ошарин О.В.
,
Цыганков В.Ю.
Журнал:
Вопросы радиоэлектроники. Серия ЭВТ
Номер:
5
Год издания:
1983
Первая страница:
55
Последняя страница:
61
Добавил в систему:
Кузьмин Игорь Юрьевич