Повышение быстродействия и радиационной стойкости силовых кремниевых диодов с применением радиационного технологического процессастатьяИсследовательская статья
Аннотация:Исследована эффективность применения радиационного технологического процесса (РТП) с использованием быстрых электронов для управления электрическими параметрами силовых кремниевых диодов, повышения их быстродействия и радиационной стойкости. Приведены экспериментальные результаты по влиянию режимов операций облучения быстрыми электронами и последующего отжига на импульсно-частотные и статические параметры кремниевых диодных структур. Установлена взаимосвязь изменения электрических параметров с кинетикой накопления и отжига радиационных центров в базовых областях исследуемых p-n-структур в процессе облучения и отжига. Даны рекомендации по оптимальному выбору режимов операций РТП.