|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Физические процессы в полупроводниках при облучении быстрыми частицами. Теория и расчет : Учебно- методическое пособиекнига
- Авторы: Ладыгин Е.А., Лагов П.Б., Мурашев В.Н.
- Год издания: 2001
- Издательство: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС»
- Местоположение издательства: Москва
- Объём: 47 страниц
- Тираж: 100 экз.
- Учебно-методическая литература
- Аннотация: В пособии кратко изложены современные теоретические представления об образовании первичных дефектов в объеме полупроводника, приведены формулы для расчета основных электрофизических параметров монокристаллических полупроводников при воздействии быстрых частиц и гамма-квантов в широком диапазоне энергий. Цель пособия заключается в приобретении практических навыков выполнения расчета полного числа неравновесных смещений атомов в единице объема полупроводникового монокристалла при облучении различными видами частиц и гамма-квантов надпороговых энергий. Приведены точные значения фундаментальных физических констант, необходимых для расчетов, а также наглядные графические зависимости рассчитываемых параметров от условий облучения для кремния, которые полезно использовать для самопроверки результатов расчета. <br>Пособие предназначено для студентов специальности 200100 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", выполняющих курсовые работы по дисциплине "Основы лучевой технологии микроэлектроники", а также пособие будет полезно студентам, аспирантам и специалистам, выполняющим дипломные и научно-исследовательские работы в области радиационной физики, материаловедения, технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем.
- Добавил в систему: Павлов Юрий Сергеевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Ладыгин Е. А., Лагов П. Б., Мурашев В. Н. Физические процессы в полупроводниках при облучении быстрыми частицами. Теория и расчет : Учебно- методическое пособие. Москва, 2001. | No1678_Fizicheskie_protsessyi_v_poluprovodnikah_pri_obluche… | 3,8 МБ | 3 декабря 2020 [PavlovUS] |