–
Статьи в журналах
-
- 2018 Modeling the Dynamics of the Integral Dielectric Permittivity of a Porous Low-K Organosilicate Film during the Dry Etching of a Photoresist in O2 Plasma
- Rezvanov A.A., Matyushkin I.V., Gushchin O.P., Gornev E.S.
- в журнале Russian Microelectronics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 47, № 6, с. 415-426 DOI
Научные отчёты
-
- 2011 РАЗРАБОТКА БАЗОВОЙ ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОСЛОЙНОЙ РАЗВОДКИ (7-8 УРОВНЕЙ) СВЕРХБОЛЬШИХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ НА ОСНОВЕ AL И CU
- Авторы: Красников Г.Я., Гущин О.П., Валеев А.С., Данила А.В., Гвоздев В.А., Кузнецов П.И., Смирнов Е.А., Чамов А.А., Данилкин Е.В., Хрусталёв В.А., Морозов Е.Н., Воротилов К.А., Васильев В.А., Бокарев В.П., Кругликов С.С., Тураев Д.Ю.
- #10411.1006800.11.049