–
Патенты
-
- 2011 Lithographic apparatus and device manufacturing method
- Авторы: Ivanov V.V., Banine V.Y., Bleeker A.J., Koshelev K.N., Antsiferov P.S., Krivtsun V.M., Lopaev D.V.
- #United States Patent 7872244, 18 января
-
- 2009 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
- Авторы: IVANOV V.V., BANINE V., BLEEKER A., KOSHELEV K.N., ANTSIFEROV P.S., KRIVTSUN V.M., LOPAEV D.V.
- #WO2009018933, 13 февраля