Области научных интересов
Ключевые слова: квантовая теория рассеяния; нанотехнологии: распыление; травление; зарядка диэлектриков; окисление / quantum thery of scattering; nanotechnology: sputtering; etching; charge-up; oxidation
Ключевые слова
реактивное рассеяние, взаимодействие плазма-поверхность
reactive scattering, plasma-surface interaction