–
НИР и НИОКР
-
- 15 апреля 2025 - 20 декабря 2025 Поиск конструктивных решений для оптимизации зазора между плазмой и поверхностью образца, изучение влияния зазора на условия роста алмазной пленки
- Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
- Руководитель: Минаков П.В. Участники НИР: Удалов В.Н., Чумичев Е.А., Шевнин П.Л., Самородов В.А.
-
- 8 февраля 2024 - 20 декабря 2024 Проведение экспериментально-теоретических исследований работы технологической многомагнетронной установки для высокоскоростного плазмохимического осаждения алмазных пленок на большой площади при импульсно-периодической активации разряда
- Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
- Руководитель: Минаков П.В. Участники НИР: Шевнин П.Л., Чумичев Е.А., Удалов В.Н., Самородов В.А.