–
НИР и НИОКР
-
- 27 сентября 2023 - 20 декабря 2023 Проведение экспериментально-теоретических исследований работы технологической многомагнетронной установки для высокоскоростного плазмохимического осаждения алмазных пленок на большой площади в различных режимах
- Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
- Руководитель: Минаков П.В. Участники НИР: Удалов В.Н., Чумичев Е.А., Самородов В.А., Пилевский А.А., Гальперина Т.Е., Шевнин П.Л.