–
Доклады на научных конференциях
-
- 2018 High-rate high-density ICP etching of germanium (Стендовый)
- Авторы: Lagov P.B., Maslovsky V.M., Pavlov Yu S., Lednev A.M., Drenin A.S., Skryleva E.A., Rogovsky E.S.
- XII-th INTERNATIONAL CONFERENCE on ION IMPLANTATION AND OTHER APPLICATIONS OF IONS AND ELECTRONS, Kazimierz Dolny, Польша, 18-21 июня 2018
-
- 2016 ПРИМЕНЕНИЕ УСКОРИТЕЛЯ ИОНОВ «ТАНДЕТРОН» ПРИ СОЗДАНИИ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ С ПОВЫШЕННОЙ РАДИАЦИОННОЙ СТОЙКОСТЬЮ И ЭНЕРГОЭФФЕКТИВНОСТЬЮ (Стендовый)
- Авторы: Лагов П.Б., Дренин А.С., Зиновьев М.А., Роговский Е.С., Романов В.А., Глотов А.И., Кобец У.А., Бажал С.В., Куприянов Б.В.
- 19-я Всероссийская научно-техническая конференция «Стойкость – 2016», г. Лыткарино, Россия, 7-8 июня 2016