XII-th International Conference Ion Implantation And Other Applications Of Ions And Electrons 18–21 June 2018сборник
-
Год издания:
2018
-
Место издания:
Kazimierz Dolny, Poland
-
Сборник тезисов
-
Добавил в систему:
Лагов Петр Борисович
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
2018
High-rate high-density ICP etching of germanium
-
Lagov P.B.,
Maslovsky V.M.,
Pavlov Yu S.,
Rogovsky E.S.,
Drenin A.S.,
Skryleva E.A.,
and Lednev A.M.
-
в сборнике XII-th International Conference Ion Implantation And Other Applications Of Ions And Electrons 18–21 June 2018, место издания Kazimierz Dolny, Poland, тезисы, с. 107-107
-