Доклады 1-й конференции по применению методов математического моделирования и статистических методов для анализа-синтеза интегральных схем и технологических процессов микроэлектроникисборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• • 1969 Построение модели и анализ технологического процесса изготовления тонкопленочных элементов статистическим методом главных компонентов
  • Литваковский Б.А., Андрукович П.Ф., Гинберг А.М., Грановский Ю.В., Кириенко А.П.
  • в сборнике Доклады 1-й конференции по применению методов математического моделирования и статистических методов для анализа-синтеза интегральных схем и технологических процессов микроэлектроники, место издания МИЭМ Москва, тезисы, с. 87-88