Workshop on Radio-Frequency Dischargesсборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• • 2007 Evolution of Electron Temperature and Density Distributions in the Inter-Electrode Gap of DF CCP Discharge during the RF Period
  • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N.
  • в сборнике Workshop on Radio-Frequency Discharges, место издания All Hallows College, Dublin, Ireland, тезисы, с. 28