Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ЦЭМИ РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
33rd European Mask and Lithography Conference
сборник
Год издания:
2017
Том:
10446
Место издания:
SPIE
Добавил в систему:
Черник Виталий Валерьевич
Статьи, опубликованные в сборнике
2017
Experimental verification of sub-wavelength holographic lithography physical concept for single exposure fabrication of complex structures on planar and nonplanar surfaces
Chernik Vitaly
,
Rakhovski\cyrchar\cyrii Vadim
,
Borisov Michael
,
Chelyubeev Dmitry
,
Miheev Peter
,
Shamaev Alexei
в сборнике
33rd European Mask and Lithography Conference
, место издания
SPIE
, том 10446
DOI