Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ЦЭМИ РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
НИИЭИР, сб. рефератов НИОКР, серия РТ, ВИМИ
журнал
Индексирование: нет
Период активности журнала: не указан
Другие названия журнала:
НИИЭИР, сб. рефератов НИОКР, с.РТ, ВИМИ
Добавил в систему:
Грачев Евгений Александрович
Статьи, опубликованные в журнале
1987
Модель электронно-лучевого экспонирования рельефных многослойных структур при изготовлении БИС. Депонированная рукопись 3-8137
Грачев Е.А.
,
Кузьмин И.Ю.
, и др.
в журнале
НИИЭИР, сб. рефератов НИОКР, серия РТ, ВИМИ
, № 47, с. 1-10
1987
Экспериментальное исследование тепловых эффектов при электронно-лучевом экспонировании в процессе изготовления фотошаблонов БИС. Депонированная рукопись 3-8130
Грачев Е.А.
,
Кузьмин И.Ю.
, и др.
в журнале
НИИЭИР, сб. рефератов НИОКР, серия РТ, ВИМИ
, № 48, с. 1-11
1985
Роль малоугольного приближения в исследовании процесса рассеяния электронов литографических энергий при изготовлении БИС. Депонированная рукопись 3-7685
Грачев Е.А.
,
Кузьмин И.Ю.
, и др.
в журнале
НИИЭИР, сб. рефератов НИОКР, серия РТ, ВИМИ
, № 26, с. 1-12