|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
In-Line Plasma Cleaning of EUV Multilayer Mirrorsстатья
- Авторы: Malykhin E.M., Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Koshelev K.N., Krivtsun V.M., Yakushev O.F.
- Сборник: Bulletin of the American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, October4-8 2010, Paris, France
- Серия: 7
- Том: 55
- Год издания: 2010
- Место издания: Paris, France
- Добавил в систему: Лопаев Дмитрий Викторович